نشت
در هر روزنه‌ای که دو فضای دارای فشار متفاوت را به هم مرتبط می‌سازد، گاز از سمتی که فشار بالاتری دارد به سمتی که فشار پایین‌تری دارد جریان می‌یابد. اگر از یک منبع خارجی یا از محیط به داخل سیستم وارد شود، نشت نامیده می‌شود. دبی جرمی یا میزان نشت عموماً‌ به صورت تور لیتر بر ثانیه^[۱۸]، lusec (میکرولیتر بر ثانیه) یا میکروفوت مکعب بر دقیقه^[۱۹] بیان می‌شود.
تقسیم‌بندی خلأ به نواحی مختلف بر اساس محدوده فشار
برای تقسیم‌بندی میزان خلأ تعاریف مختلفی وجود دارد. در اولین تقسیم‌بندی، دامنه‌ی خلأ با توجه به پایین‌ترین فشار و پویش آزاد میانگین تعیین می‌گردد. گستره‌ خلأ پایین محدوده فشارهای کمتر از اتمسفر و بیشتر از ۲۵ میلی‌بار است. حد پایین این گستره تقریباً برابر فشار بخار آب در ۲۵^ºc تعیین شده است (حدود یک اینچ جیوه). خلأ متوسطدر دامنه‌ی بین ۲۵ تا ^۳-۱۰ میلی‌بار قرار دارد به عبارتی ۱۰^-۳ mbar < P < 25 mbar.

( اینجا فقط تکه ای از متن فایل پایان نامه درج شده است. برای خرید متن کامل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. )

در تقسیم‌بندی دیگر، دامنه فشار اتمسفریک تا ۱ میلی‌بار را خلأ ابتدایی یا خلأ پایین^[۲۰]، دامنه ۱ تا ^۳-۱۰ میلی‌بار را خلأ متوسط^[۲۱] و به محدوده‌ی فشار کمتر از ۱۰^-۳ mbar خلأ بالا گفته می‌شود. خلأ پایین مربوط به محدوده‌ی بخار آب و خلأ متوسط مربوط به محدوده‌ی سایر بخارها (جیوه، هیدروکربن‌ها و…) است. محدوده خلأ بالا، خود به خلأ بالا^[۲۲] ، بسیار بالا^[۲۳] و فوق بالا^[۲۴] تقسیم‌بندی می‌شود. خلأ بالا و بسیار بالا به استفاده از موادی که فشار بخار پایینی در دمای اتاق دارند محدود می‌شود. محدوده خلأ به صورت جدول ‏۱‑۱، ارائه شده است.
جدول ‏۱‑۱: محدوده خلأ و رنج‌های آن

محدوده خلأ
رنج خلأ

خلأ پایین

فشار اتمسفریک تا ۱ میلی‌بار

خلأ متوسط

۱ تا ۱۰^-۳ میلی‌بار

خلأ بالا

۱۰^-۳ تا ۱۰^-۷ میلی‌بار

خلأ بسیار بالا

۱۰^-۷ تا ۱۰^-۱۲ میلی‌بار

خلأ فوق بالا

کمتر از۱۰^-۱۲ میلی‌بار

رژیم‌های مختلف جریان گازی
پیش‌بینی رفتار گازها در دستگاه‌هایی با ابعاد میکرونی و نانومتری، الکترومکانیکی یا دستگاه‌هایی که با گازهای رقیق کار می‌کنند به دلیل از دست رفتن پیوستگی سیال و قابل مقایسه بودن ابعاد مجرای عبوری جریان گاز با پویش آزاد مولکولی مشکل می‌باشد. در این حالت شرط عدم لغزش بر روی دیواره که در جریان پیوسته وجود دارد کم‌کم اعتبار خود را از دست می‌دهد. در نتیجه سرعت سیال بر روی دیواره صفر نبوده و پروفیل جریان تغییر می‌کند. بر اساس عدد نادسن جریان گاز‌ها طبق جدول ‏۱‑۲ به سه رژیم زیر دسته بندی می‌شوند.
جدول ‏۱‑۲: انواع رژیم‌های جریان گازی بر اساس عدد نادسن

نوع رژیم
محدوده اعداد بی‌بعد

آرام (جریان گازی ویسکوز)

R< 1200 (Kn< 0/01)

متلاطم (جریان گازی ویسکوز)

R> 2200 (Kn< 0/01)

جریان گازی انتقالی یا لغزشی